多晶硅氢化炉及还原炉的研发

摘要：

通过分析我国多晶硅生产现状,改良西门子法的原理和国内运行存在的问题,研制具有特色的氢化炉/还原炉,实现多晶硅生产的减排降耗.

关键词：多晶硅、改良西门子法、氢化炉、还原炉

分类号：TU9;TQ0

在线出版日期：2009-11-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：34-36