一种微波等离子体反应器的优化设计

摘要：

采用HFSS软件对点火腔和反应腔进行优化仿真,得出了最优尺寸的腔体.点火腔设计为压缩弯波导形状,在谐振情况,单位微波功率可产生高达1.35 ×104 V/m的微波场强,便于产生等离子体;反应腔设计为同轴谐振腔结构,谐振情况下S11散射系数为-54,可产生较大面积的等离子体并提高了微波能量的利用率;反应腔中的石英反应管设计为螺旋结构,可延长等离子体在反应腔中的反应时间,从而提高等离子体化学反应的转化率;通过电调反射器及环行器系统来自由调节点火腔和反应腔中微波能量的分配,实现反应器等离子体点火、加热于一体的功能.

关键词：等离子体、压缩弯波导、同轴谐振腔、电调反射器

所属期刊栏目：42

分类号：O411.3(理论物理学)

在线出版日期：2015-02-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：118-122