一种电容式高量程微机械加速度计的设计分析

摘要：

针对特殊场合的高g值加速度测试需求,提出了一种叉齿电容式高量程微机械加速度计的结构形式,采用面内敏感的变面积差动电容变化方式,并针对传感器固有频率、横向效应、量程和加速度灵敏度进行了设计分析.仿真结果表明:该加速度计量程200 000 g,固有频率266.2 kHz,模态分离比大于2.5,0～10 kHz通频带内加速度分辨率优于60 g.基于硅-玻璃微机械工艺进行了加速度计微结构的流片加工、镜检测试和传感器的初步冲击实验验证.相比已有的高量程微机械加速度计,该设计具有线性度好、横向效应小、加速度灵敏度高和抗高过载能力强等特点.

关键词：电子技术、高g值加速度计、电容式微机械加速度计、微机电系统、仿真设计

所属期刊栏目：35

分类号：TH7(仪器、仪表)

在线出版日期：2015-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1860-1866