基于PZT的面内压电微驱动器力学分析

摘要：

基于PZT的面内压电微驱动器是一种能够在面内产生水平运动的微型驱动器,由下层的Si单质和上层的PZT组成.通过施加电场,使驱动器末端产生位移来实现驱动功能.本文通过将整个驱动器划分为横梁和斜梁,以横梁和斜梁连接处位移相等为条件,求出二者连接处的受力大小,进而给出微驱动器在z方向电场作用下y方向上的形变关于各个结构参数及电场的函数表达式.

关键词：微驱动器、复合材料、PZT、力学分析

所属期刊栏目：29

分类号：TH703(仪器、仪表)

在线出版日期：2018-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：55-62