3ω法表征热导率研究进展

摘要：

3ω法作为一种表征固体薄膜、液体、气体等材料热导率的通用性技术,由于其测量成本低、采集速度快和样品制备工艺相对简单等独特的优势,在功率器件、绿色能源、生物医学等领域具有良好的应用前景.综述了近年来3ω法表征热导率的研究进展.首先介绍了 3ω法表征热导率的基本原理;然后归纳总结了 3ω法在不同微纳材料尺度下表征热导率的进展和成果,分类说明了 3ω法在生物医学领域和第三代宽禁带功率半导体材料领域的最新应用;最后对3ω法表征热导率的研究成果进行总结,指出了 目前存在的问题,并进一步展望了未来的发展方向.

关键词：3ω法、热导率、功率器件、生物医学、微纳材料

所属期刊栏目：47

分类号：TN304.07(半导体技术)

资助基金：天津市科技计划项目;天津市自然科学基金一般项目;天津市教委科研计划重点项目

在线出版日期：2022-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：429-436,454