基于压电力显微镜的铌酸锂电畴稳定性研究

摘要：

研究了Z切700 nm厚的单晶铌酸锂(LiNbO3)薄膜电畴的调控方法.利用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对单晶LiNbO3薄膜的晶向和形貌进行了表征,并通过外加电场对单晶LiNbO3薄膜电畴进行调控.研究结果表明,该LiNbO3薄膜具有单一的(006)衍射峰,表面光滑、粗糙度低(均方根粗糙度小于1 nm).通过外加电场和预设电畴图案对LiNbO3电畴进行精准调控,并测试了电畴稳定性.测试结果显示,调控后的电畴在温度为25～150℃内处于稳定状态,且在30 d内保持稳定,未发生弛豫现象.该研究为LiNbO3电畴工程器件的研发和应用提供了重要的技术支撑.

关键词：铌酸锂(LiNbO3)、铁电材料、电畴、压电力显微镜(PFM)、极化

所属期刊栏目：47

分类号：TN304.9;TM225(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金;山西省回国留学人员科研资助项目

在线出版日期：2022-03-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：100-104