基于硅钛氧化物复合薄膜的有机场效应晶体管

摘要：

研究了以硅钛氧化物复合薄膜为绝缘层、并五苯为半导体层的有机场效应晶体管(OFET),其中硅钛氧化物复合薄膜采用溶胶-凝胶法制备.采用傅里叶红外光谱仪、X射线衍射仪、原子力显微镜和扫描电子显微镜对硅钛氧化物复合薄膜进行了测试和表征.结果 表明,硅钛氧化物复合薄膜中存在两种不同类型的氧化钛晶体结构(锐钛矿和金红石),具有较高的介电常数(k=9.47),在30 V偏压下漏电流密度小于1×10-9 A·cm-2.器件测试结果表明,有机场效应晶体管的载流子迁移率为0.16 cm2·V-1·s-1,开启电压为-1.9V,亚阈值摆幅为180 mV·dec-1,开关比为1×104.高介电常数绝缘层可以有效降低有机场效应晶体管的工作电压、开启电压和亚阈值摆幅.

关键词：硅钛氧化物复合薄膜、有机场效应晶体管(OFET)、溶胶-凝胶法、介电常数、工作电压

所属期刊栏目：45

分类号：TN304.5(半导体技术)

资助基金：陕西省自然科学基础研究计划2017JM1037

在线出版日期：2020-12-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：943-947,956