低损伤选择性发射极太阳电池激光工艺

摘要：

钝化发射极及背面接触(PERC)太阳电池技术叠加激光选择性发射极(SE)制备工艺是近年发展起来的提升PERC太阳电池效率的有效方法之一,但是在SE的制备过程中易发生磷硅玻璃(PSG)层被激光烧蚀的现象,导致电池性能下降.通过研究激光波长、脉冲频率、激光功率和扫描速度对硅片表面形貌、表面方块电阻、电池性能的影响,探索高效率、低损伤SE太阳电池的制备方法.实验结果表明,在激光波长为1 064 nm、激光功率为2W、脉冲频率为30 Hz条件下可获得最佳电池性能,SE太阳电池光电转换效率最高达到22.01％,与传统工艺制备的太阳电池相比提升约0.51％.

关键词：选择性发射极(SE)太阳电池、激光、选择性掺杂、钝化发射极及背面接触(PERC)、磷硅玻璃(PSG)

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分类号：TM914

资助基金：江苏省高等学校自然科学研究重大项目;江苏省科技成果转化专项;江苏省产学研前瞻性联合研究项目;江苏省研究生科研与实践创新计划项目

在线出版日期：2019-11-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：893-898