基于电荷泵技术的三维器件的界面电荷特性研究

摘要：

利用传统电荷泵技术对三维立体器件界面缺陷特性进行了研究.通过改变测试脉冲上升或下降时间,分析了三维器件界面缺陷能级分布,得出缺陷能级呈现类似“U”型分布.通过在源、漏区施加不同电压,对缺陷沿沟道水平分布进行研究,得到界面缺陷在靠近源、漏区的量最大而在远离源、漏区的位置无规则分布.通过改变脉冲保持时间,对缺陷沿高介电常数叠栅垂直分布进行研究,可以明显区分开缺陷在中间介质层和高介电常数层的缺陷量.另外,利用电荷泵技术验证了三维器件负偏压温度不稳定性(NBTI)与界面缺陷的关系.

关键词：电荷泵技术、缺陷能级分布、缺陷空间分布、三维器件、负偏压温度不稳定性(NBTI)

所属期刊栏目：44

分类号：TN386;TN307(半导体技术)

资助基金：国家科技重大专项2017ZX02315001

在线出版日期：2019-07-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：542-547