物理气相传输法制备层状MoS2薄膜

摘要：

以化学气相沉积(CVD)方法在蓝宝石衬底上沉积一层较厚的MoS2膜作为前驱体,使用物理气相传输(PVT)方法制备了层状MoS2薄膜.用光学显微镜、扫描电子显微镜、喇曼光谱和光致发光光谱对制备的层状MoS2膜表面形貌、层数、光学特性进行了研究.分析了源和衬底距离对MoS2薄膜沉积的影响,发现距离较近有利于成核概率增大,形成连续膜,但是易引入不稳定因素导致立体生长的MoS2纳米片,同时观察到出现树枝状生长,这是由于前驱体质量过剩引起的部分晶面生长速率过高导致的.喇曼光谱测试表明,薄膜大部分为单层膜和双层膜,有少量的多层膜,膜的光致发光光谱强度与层数有关,单层膜光致发光光谱强度最强.

关键词：MoS2、物理气相传输(PVT)方法、蓝宝石衬底、表面形貌、层状薄膜

所属期刊栏目：44

分类号：TN304.21(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金61774054

在线出版日期：2019-07-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：459-463