改善玻璃衬底上ZnO薄膜特性的方法

摘要：

利用磁控溅射法在玻璃衬底上淀积铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜作为缓冲层,在其上制备了ZnO薄膜.重点研究了AZO薄膜作为缓冲层对玻璃衬底上ZnO薄膜特性的影响.扫描电子显微镜(SEM)图像和X射线衍射(XRD)图谱分析结果表明,玻璃衬底上加入厚度为1μm的AZO缓冲层后,提高了衬底材料和ZnO薄膜之间的晶格匹配程度,有助于增大ZnO薄膜晶粒尺寸,提高其(002)取向择优生长特性、薄膜结晶特性及晶格结构完整性.室温下的透射光谱结果表明玻璃/AZO和玻璃衬底上ZnO薄膜的透光特性没有显著不同.光致发光(PL)谱研究结果表明AZO缓冲层可以有效阻止衬底表面硅原子从ZnO薄膜中“俘获”氧原子,减少ZnO薄膜中的缺陷,改善ZnO薄膜的结晶质量.

关键词：铝掺杂氧化锌(AZO)、ZnO薄膜、磁控溅射、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)

所属期刊栏目：44

分类号：T304.21

资助基金：国家自然科学基金61405082

在线出版日期：2019-07-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：454-458