芯片原子钟MEMS原子气室数字温控系统设计

摘要：

芯片原子钟(CSAC)可以提供精准的时间基准,具有较好的应用前景.利用微型PIC(R)单片机和增量式比例-微分-积分(PID)算法设计了一种CSAC微电子机械系统(MEMS)原子气室数字温控系统,并通过磁控溅射方法制作了MEMS原子气室专用的氧化铟锡(ITO)加热玻璃.温度是影响CSAC稳定度的一个重要因素,解决了CSAC系统气室温控的加热不均匀问题,温控精度达到了0.10℃,达到了CSAC温控精度优于0.15℃的要求.通过饱和吸收光谱实验,获得了明显的饱和吸收谱线.实验结果为高性能CSAC的研究提供了参考.

关键词：芯片原子钟(CSAC)、数字温控、饱和吸收、微电子机械系统(MEMS)原子气室、氧化铟锡(ITO)加热玻璃

所属期刊栏目：44

分类号：TN402(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家重点研发计划;山西省自然基金资助项目;领域基金公开项目

在线出版日期：2019-07-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：410-414,420