一种新型源电极的DMDG隧穿场效应晶体管

摘要：

研究了一种新型源电极的双物质双栅隧穿场效应晶体管(NSE-DMDG-TFET),该器件结合了新型源电极和双物质栅的优点,其中新型源电极由传统的欧姆接触电极和高功函数浮空肖特基接触电极构成,该肖特基接触电极可有效抬升其电极下的能带、增大源区价带和沟道区导带之间的能带重叠区、减小隧穿距离,提高了开态电流和开关电流比,获得了更小的亚阈值摆幅.运用Silvaco TCAD软件完成器件仿真,并优化了该肖特基接触电极与栅电极的间距、栅金属功函数等参数.仿真结果表明:在室温下,该隧穿场效应晶体管的开态电流为3.22×10-6 A/μm,关态电流为5.71×10-17 A/μm,开关电流比可达5.64× 1010,亚阈值摆幅为34.22 mV/dec.

关键词：新型源电极、双物质栅、隧穿场效应晶体管(TFET)、亚阈值摆幅、开关电流比

所属期刊栏目：43

分类号：TN386(半导体技术)

资助基金：江苏省自然科学基金;江苏高校品牌专业建设工程资助项目

在线出版日期：2018-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：760-765