溶液法制备金属氧化物薄膜晶体管的研究进展

摘要：

金属氧化物薄膜晶体管(MOTFT)因具有迁移率高、可见光透明、工艺简单、可低温制备等优势,在高性能平板显示、可穿戴柔性电子、集成传感器等领域具有广阔的应用前景.主要回顾了溶液法制备MOTFT的研究进展.首先介绍了溶液法制备MOTFT相对于其他方法的优势,如工艺简单、制作成本低、易掺杂;然后阐述了浸涂法、喷雾法、旋涂法、印刷法加工工艺的特点及优缺点,比较了不同溶液加工工艺所制备MOTFT的电学性能;最后指出了目前溶液法制备MOTFT存在的问题,并从有源层材料与结构、栅介质层材料与界面、退火与预处理3个方面详细地讨论了溶液法制备的优化方法.

关键词：薄膜晶体管、金属氧化物半导体、溶液法、电学性能、优化方法

所属期刊栏目：43

分类号：TN321.5(半导体技术)

资助基金：广东省自然科学基金2016A030313474

在线出版日期：2018-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共15页

页码：321-334,380