大数据分析在半导体可靠性研究中的应用

摘要：

常规复杂耗时的工艺可靠性评估已经成为开发先进工艺的瓶颈问题,为了满足技术开发对可靠性性能的更高要求,提出利用"大数据"的概念,以数据库为手段的一种有效的分析处理流程.通过这种分析方法,可以使滞后、浪费成本的"事后"评估变成有效的"事前"控制,及时发现并改善可靠性问题.研究中通过实例说明该方法可以使可靠性测试评估更高效,进一步解释它对于快速发现并改善工艺缺陷的作用,同时该方法还能对优化电路设计避免可靠性问题提供参考.可以得出,通过对大量有效数据的分析处理,最大程度地挖掘各数据库的价值和相关性,可以协助产品品质和可靠性得到不断提升.

关键词：大数据、半导体可靠性、统计分析、工艺改善、设计优化

所属期刊栏目：40

分类号：TN406(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2016-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：954-959