一种新型低阳极发射效率快恢复二极管

摘要：

采用局域注入p型离子和高温推结的方式得到高掺杂p+区和低掺杂p-区规律性的浓度梯度变化,研制了新型低阳极发射效率二极管.与常规结构二极管相比,此结构在工艺实现时,制造工艺条件、掩模版数量保持不变,只需设计高掺杂p+区和低掺杂p-区层次掩模版图案,即可实现发射极注入效率的自调节,制造成本低;其反向恢复电荷减小了30.4％,反向电流峰值减小了29％,反向电压峰值减小了6.7％,反向恢复时间减小了11％,开关器件的工作损耗降低,折衷性能更加优良;在VF基本相当的情况下,反向恢复软度特性更优.

关键词：快恢复二极管(FRD)、低阳极发射效率、导通压降、反向恢复电荷、反向恢复电流峰值

所属期刊栏目：40

分类号：TN313.4(半导体技术)

资助基金：国家电网有限公司总部科技项目SGRI-WD-71-14-005:5455DW150011

在线出版日期：2016-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：911-915