雪崩光电二极管芯片自动测试系统

摘要：

利用Keithley 2400源表、AV6381可编程光衰减器、AV 38124 1 550 nm单模半导体激光器和TZ-608B型光电屏蔽探针台搭建雪崩光电二极管芯片自动测试系统.在Labview环境下开发了自动测试软件,通过软件控制测量仪表,实现了雪崩光电二极管芯片的击穿电压、暗电流、穿通电压及10倍增益工作点电压的自动测试及合格判定.探针台可以根据测量系统反馈的判定结果对不合格芯片进行NG标记,方便划片后对不合格芯片进行筛选和剔除.建立的自动测试系统准确性高,测试速度快,软件操作方便,显示结果直观.同时可以实现测试参数的自动存储,方便进行统计过程控制(SPC)分析.

关键词：雪崩光电二极管芯片、击穿电压、穿通电压、暗电流、测试系统

所属期刊栏目：40

分类号：TN364.2(半导体技术)

在线出版日期：2015-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：473-477