低功耗热光可调光衰减器的设计与制备

摘要：

可调光衰减器(VOA)是波分复用(WDM)系统中最重要的器件之一,它的主要功能是控制和衰减光信号.设计并制备了基于石英衬底的4通道马赫增德尔(Mach-Zehnder)干涉型热光可调光衰减器阵列.首先介绍了热光可调光衰减器的结构和原理,模拟了在有外加偏压时的热场分布,然后介绍了器件的设计及制备工艺过程,并对所制备的器件进行测试.实验结果表明,制备器件的插入损耗小于1.1 dB,动态衰减范围为0～30 dB.在衰减量为30 dB时,外加偏压为12.5V,功耗仅有120 mW.最后分析了测试结果,并提出了改善器件性能的方法.

关键词：波分复用(WDM)、马赫增德尔干涉型、可调光衰减器(VOA)、石英衬底、低功耗

所属期刊栏目：39

分类号：TN256;TN715(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划（863计划）;国家自然科学基金

在线出版日期：2014-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：584-588