氧化锌的p型掺杂改性研究进展

摘要：

综述了近年来纳米氧化锌材料p型掺杂改性的研究现状,介绍了用于p型掺杂的单元素和共掺杂双元素以及所采用的主要掺杂方法,这些方法包括热蒸发法、喷雾热解法、溶胶-凝胶法、低温水解法、离子束增强沉积法、脉冲激光沉积法和磁控溅射法等.探讨了掺杂后的氧化锌在光电磁以及p型稳定性等方面表现出的新特性,介绍了p型氧化锌薄膜在紫外探测器和太阳电池方面的应用,对p型氧化锌薄膜未来的发展进行了分析和预测,认为制备稳定、低电阻率和高载流子浓度的p型氧化锌薄膜是今后研究的重点.

关键词：氧化锌、p型掺杂、掺杂元素、掺杂方法、低电阻率

所属期刊栏目：39

分类号：TN304.21(半导体技术)

资助基金：湖南省科技计划;湖南省自然科学基金-株洲市联合基金

在线出版日期：2014-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：561-566