两步法制备ZnO∶Eu3+薄膜及其光学特性的研究

摘要：

通过两步法在普通载玻片上成功制备了具有六角纤锌矿结构且沿(002)衍射峰c轴择优取向生长的铕掺杂氧化锌(ZnO∶ Eu3+)薄膜.首先利用CS-300直流磁控溅射镀膜机在载玻片上制备ZnO种子层,然后利用水热法在ZnO种子层上生长ZnO∶ Eu3+薄膜.利用X射线衍射(XRD)谱分析表明,Eu3+掺杂使薄膜的结晶度降低,平均晶粒尺寸变小,且(002)衍射峰的峰位向小角度偏移.采用扫描电子显微镜(SEM)观察薄膜的表面形貌,膜层表面颗粒分布均匀致密.室温光致发光(PL)谱测试表明,ZnO基质与Eu3+之间存在有效的能量传递,325 nm的波长激发下,在波长615 nm左右观察到强而尖锐的红色特征峰,最佳掺杂比为5％;该实验结果为扩大ZnO∶Eu3+薄膜的应用领域提供了部分依据.

关键词：薄膜、ZnO∶Eu3+、两步法、微结构、光学特性

所属期刊栏目：38

分类号：TN304.055(半导体技术)

资助基金：河南省基础与前沿技术研究计划项目112300410020;河南省教育厅自然科学项目2011A140024

在线出版日期：2013-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：851-856