MEMS无线无源电容压力传感器结构设计及制备

摘要：

设计了一种无线无源电容压力传感器.传感器采用MEMS工艺由硅-玻璃浆料-硅键合而成,独特的三层结构设计用以实现高温环境下的测量.应用有限元分析软件对传感器结构进行了仿真分析,并详细介绍了其加工工艺;引进了一种新型的非接触无源测量技术,用于检测传感器压敏电容极板间距的变化.测试结果表明,传感器可以实现外界压力信号与谐振频率信号之间的转化,传感器在0 ～ 200 kPa压力下,谐振频率随压力变化近似成线性关系且谐振频率随压力的增大逐渐减小,灵敏度约为10.6 kHz/kPa.

关键词：无线无源传感器、压力传感器、MEMS、非接触测量、谐振频率

所属期刊栏目：38

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金51075375

在线出版日期：2013-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：827-830