基于图案匹配LED芯片定位系统

摘要：

LED芯片定位是进行芯片检测、划片、扩晶、固晶及判断芯片电气特性、芯片管脚是否达到要求,能否成功分选LED芯片质量的关键一环.针对这一问题,提出了一种图案匹配的定位方法.首先通过获取物体图像的边界特征点,拟合出不依赖于像素灰度的边界形状几何曲线,即图案模板,然后在待检测的图像中搜索相似的几何形状,达到精确定位LED芯片的目的.由于该图案模板与边界有关,与灰度无关,且能旋转、缩放,因此可大大提高定位的鲁棒性和准确性.实验结果表明,其图像定位误差小于1μm,定位速度大于5粒/s,为检测机、分拣机和固晶机等设备的芯片级高精度定位系统开辟了新的方法.

关键词：图案匹配、特征点、LED芯片、定位系统、机器视觉

所属期刊栏目：38

分类号：TN312.8;TP242.2(半导体技术)

资助基金：福建省科技厅重大基金项目2011H6022;福建省教育厅重点项目JB11161

在线出版日期：2013-08-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：556-559