红光LED尺寸对ITO电流扩展的影响

摘要：

采用真空电子束蒸镀的方法制备氧化铟锡(ITO)薄膜,以此作为AlGaInP红光发光二极管(LED)的电流扩展层.研究了该LED结构中,不同的芯粒尺寸对ITO电流扩展的影响.结果表明,在电极尺寸一定的情况下,随着芯粒尺寸的变大,ITO电流扩展层对芯粒发光强度的变化起到显著的效果；在电极直径大小为90μm,芯粒尺寸为190μm×190 μm时,电流扩展效果最优,亮度增加18.80％,而当芯粒尺寸增大到220 μm×220 μm时,亮度增加17.01％,其相对电流扩展效果下降.选取适当芯粒尺寸对ITO的电流扩展至关重要.

关键词：氧化铟锡、芯粒尺寸、电流扩展、发光二极管、AlGaInP

所属期刊栏目：37

分类号：TN364.2(半导体技术)

资助基金：广东省自然科学基金项目S2011040005150;广东省省部产学研项目2011B090400401

在线出版日期：2013-01-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：923-927