CMOS数字热真空传感器芯片设计

摘要：

基于标准CMOS工艺设计了一款集成热真空传感器、运算放大器、逐次逼近型模数转换器(SAR ADC)、数字信号处理电路的传感器系统.工作在恒电流模式的传感器,气压敏感区间为1～105 Pa.运算放大器(OPAMP)的输入级采用互补差分对获得轨至轨的共模输入范围.为满足精度要求,对SAR ADC中数模转换器电容阵列进行优化设计,并采用输出失调存储技术消除比较器的失调电压.数字电路采用查表法将电压信号变换为气压值.结果表明:运算放大器能无失真地驱动200 Q电阻,模数转换器的有效位为9.5 bit.运算放大器、模数转换器、数字信号处理电路性能良好,满足传感器系统要求.

关键词：集成传感器、热真空传感器、模数转换器、运算放大器、逐次逼近寄存器

所属期刊栏目：37

分类号：TN43(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：辽宁省教育厅科研项目资助L2011064

在线出版日期：2013-01-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：905-908