绒面掺铝氧化锌薄膜的制备及其特性研究

摘要：

采用磁控溅射法在较低温度下制备出室温电阻率为3.4×10-4Ω·cm,可见光范围内平均透过率为84％的掺铝的氧化锌(ZnO∶Al (AZO))薄膜.通过乙酸和盐酸溶液的腐蚀制备绒面AZO薄膜,利用X射线衍射(XRD)、紫外/可见光谱仪和扫描电子显微镜(SEM)研究了不同酸溶液及溶液浓度对薄膜微观形貌和光电性质的影响.XRD测量结果表明薄膜呈六角纤锌矿结构,且具有良好的c轴取向.UV-Vis紫外可见光谱结果表明薄膜具有良好的透过率.SEM结果表明使用盐酸溶液比乙酸更容易获得陷光的绒面结构,薄膜在质量分数为0.5％的盐酸中腐蚀25 s后形成了相对较好的绒面结构.

关键词：中频脉冲磁控溅射、AZO薄膜、衬底温度、光电性质、绒面结构

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分类号：TN304.055(半导体技术)

在线出版日期：2012-12-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：858-862,893