一种微型Pt温度传感器及其读出电路的研究

摘要：

基于电阻温度系数(TCR)原理及微机电系统技术,设计并制作了一种用于微型聚合酶链式反应(PCR)芯片的Pt温度传感器及其读出电路.利用溅射和剥离技术将厚度为100 nm的弯曲条形Pt传感器制作在硅衬底上.其长度和宽度分别为2 030 μm和10 μm.设计了基于四线法温度测量的读出电路,该电路主要包括一个恒流源电路和一个电压放大电路.测试结果表明,该传感器的电阻温度系数为1.48×10-3℃-1,其电阻变化随着温度的变化具有良好的线性度,当温度在27～100℃变化时,电阻范围在653.5 ～716.5Ω变化.在接出一个8位的模数转换器以后,整个传感器和读出电路能确保一个精度为0.2℃的温度控制,满足一般PCR测量需要.

关键词：微机电系统、聚合酶链式反应(PCR)芯片、Pt温度传感器、电阻温度系数、读出电路

所属期刊栏目：37

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家重点基础研究发展计划（973计划）;国家自然科学基金

在线出版日期：2012-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：464-469