图形化蓝宝石衬底GaN基LED的研究进展

摘要：

蓝宝石衬底作为发光二极管最常用的衬底,经过不断发展,在克服其与GaN间晶格失配和热膨胀失配问题上,研究人员不断提出解决方案.近期发展起来的图形化衬底技术,除了能减少生长在蓝宝石衬底上GaN之间的差排缺陷,提高磊晶质量以解决失配问题,更能提高LED的出光效率.从衬底图形的形状、尺寸、制备工艺出发,回顾了图形化蓝宝石衬底GaN基LED的研究进展,详细介绍了近年来关于图形化衬底技术与其他技术在提高LED性能方面的结合,总结了图形化蓝宝石衬底应用于大尺寸芯片的优势,并对其未来在大功率照明市场的应用进行了展望.

关键词：蓝宝石、图形化衬底、发光二极管(LED)、GaN、制备工艺

所属期刊栏目：37

分类号：TN304.2(半导体技术)

在线出版日期：2012-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：417-424