圆拟合修正法在超声波键合机中的应用

摘要：

针对引线键合机中键合点位置误差形成的成因与特点,提出了键合位置误差圆拟合修正法.首先,让焊头以不同角度旋转,标记出不同旋转角度时,键合点在图像坐标系下的坐标值.然后,利用改进的最小二乘圆拟合法,根据标记坐标拟合出键合轨迹方程.根据方程即可计算出焊头以任意角度旋转运动时,键合点位置的图像坐标值.最后,将图像坐标系转换为运动坐标系,控制键合工具实现精确定位运动.实际应用表明,经过圆拟合修正后,键合点的位置误差由0.68 mm减小到0.07 mm左右,大幅提高了键合点的位置精度,可准确实现焊接区域键合.

关键词：超声波键合机、键合工具、位置误差、椭圆拟合、精度

分类号：TN305.93(半导体技术)

资助基金：吉林省科技发展计划20090355

在线出版日期：2011-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：549-553