全固态高效率射频电源

摘要：

射频电源作为微电子设备如刻蚀机、溅射台和PECVD等的核心部件,其性能的好坏直接关系到整个设备的性能.固态射频电源采用E类MOSFET功率放大器,通过适当的阻抗匹配网络,最终的射频电源在500 W的额定功率下,功率转换效率可以达到84%,微电子设备真空腔室内的等离子体启辉时,其阻抗变化范围很大且速度很快.目前匹配速度最快的MKS的自动匹配器(在允许匹配范围内匹配到50 Ω时用时3～5 s)也很难实时跟上,所以固态射频电源必须能够承受500W功率的反射至少3～5 s.经过实验后,本固态射频电源完全可以承受500 W功率的全反射30 s左右.

关键词：固态射频电源、E类、阻抗匹配网络、等离子体、全反射

所属期刊栏目：36

分类号：TN86(无线电设备、电信设备)

资助基金：国家科技重大专项;国家自然科学基金;中国科学院科研装备研制项目

在线出版日期：2011-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：287-290