射频磁控溅射法沉积透明柔性导电CdO薄膜

摘要：

随着透明电子器件和柔性显示器的发展,柔性透明导电薄膜正在受到越来越多的关注.采用射频磁控溅射法在柔性衬底上低温沉积高透过率、低电阻率的CdO薄膜.研究了O2流量对薄膜的结晶性能、光学性质和导电性能的影响.研究结果表明,室温下沉积的CdO薄膜均为结晶性能良好的立方结构薄膜,(200)取向性明显.另一方面,O2流量对CdO薄膜的光电性能有很大的影响.O2流量过小时,薄膜的透光率较差,而当O2流量较大时,薄膜的电阻率较大,当O2流量大于3 cm3/min时,光学透光率不再有大的变化.

关键词：氧化镉、薄膜、射频磁控溅射、方块电阻、电阻率

所属期刊栏目：35

分类号：TN305.92(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金;浙江省科技计划

在线出版日期：2011-03-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1170-1173