超薄Ge单晶抛光片机械强度控制技术

摘要：

Ge单晶衬底上制成的化合物太阳能电池,被越来越广泛地应用于空间太阳能领域,超薄Ge抛光的机械强度也越来越受到人们的关注.介绍了一种测试超薄Ge单晶抛光片机械强度的方法.研究了加工工艺对超薄Ge单晶抛光片机械强度的影响,同时指出在太阳电池用超薄Ge单晶抛光片的加工过程中,切割、研磨、磨削、化学腐蚀、抛光等工序对超薄Ge单晶抛光片的机械强度均有着不同程度的影响.研究表明,通过调整磨削砂轮砂粒粒径、化学腐蚀去除厚度和抛光速率等工艺参数,能够有效控制超薄Ge单晶抛光片的机械强度.

关键词：机械强度、锗抛光片、太阳电池、损伤层、砂轮砂粒粒径

所属期刊栏目：35

分类号：TN305.2(半导体技术)

在线出版日期：2010-09-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：768-771,786