多结化合物电池用p型Ge抛光片清洗技术研究

摘要：

对多结化合物太阳电池用的p型Ge抛光片的清洗技术做了研究.Ge抛光片的清洗可以采用酸性清洗液和碱性清洗液相结合的方式.酸性清洗液的主要作用是去除晶片表面的有机物;碱性清洗液的主要作用是去除晶片表面的颗粒.清洗液的温度和组分影响着抛光片的清洗效果.通过实验结果确定了p型Ge抛光片的清洗方案,采用这一清洗方案清洗的Ge抛光片,表面质量可以达到"开盒即用"的水平.运用晶片清洗机理分析了各种清洗液的功能和作用.

关键词：p型锗抛光片、清洗技术、太阳电池、清洗液、晶片

所属期刊栏目：35

分类号：TN305.2(半导体技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划（863计划）2002AA001013

在线出版日期：2010-09-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：764-767