斜坡电流测试应用与比较方法研究

摘要：

讨论了斜坡电流测试的相关参数如电流斜坡速率、步长及电流倍增速率对测试结果击穿电荷具有的严重影响.指出斜坡电流测试中各个参数的设定、影响及其相关性,使斜坡电流测试的结果具有可比较性.同时,讨论了由于斜坡电流测试本身的特性,击穿电荷具有非连续性,针对击穿电荷的非连续性,提供了一种统计上的数据处理方法,并且根据工程上不同的定性比较结果提供了不同的统计比较方法,可以对非连续的斜坡电流测试结果进行定量的统计比较.在产品验证或生产线出现异常时,能够进行统计上的比较,给出定量的结果.据此能对生产线的稳定性或异常事件对产品的影响给出明确的结论,为受影响的产品的处置提供定量的数据支持.这是首次对斜坡电流测试数据的统计定量分析.

关键词：隧道氧化层、斜坡电流测试、电流斜坡速率、电流倍增速率、步长、统计比较

所属期刊栏目：35

分类号：TN406(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2010-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：465-468