静电驱动光开关的结构设计与驱动电压分析

摘要：

对静电驱动光开关的驱动结构进行了研究分析,对比分析了采用平面下电极和倾斜下电极两种驱动结构光开关的驱动电压.采用倾斜下电极光开关的pull-in电压较低,在此基础之上,提出了一种双倾斜电极三明治驱动结构光开关.在微反射镜偏移相同距离时,该种驱动结构光开关的pull-in电压更低,从而能够更进一步地提高光开关的性能.

关键词：光开关、驱动电压、静电驱动

所属期刊栏目：35

分类号：TN302(半导体技术)

资助基金：山东省自然科学基金2008A34

在线出版日期：2010-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：440-442