标准互连线性能参数的测试结构设计与实现

摘要：

标准互连线性能参数SIPPs是衡量ULSI后段制程效能的标准方法.结合纳米工艺后段制程的特点,根据各参数对不同测试结构敏感度的差异,设计了平行板电容、层跃平行板电容、叉指型电容、叉指型通孔链电阻等提取各参数的无源测试结构.结合版图层信息文件和测试结构输入文件,采用高阶Perl语言将其自动实现为CIF格式版图文件;经Cadence版图软件转换成晶圆厂广泛采用的GDSII格式文件并通过电学连接检查,极大地提高了测试结构设计和实现的效率.

关键词：互连线、SIPPs参数、测试结构设计、自动实现

所属期刊栏目：35

分类号：TN407(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2010-05-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：272-276