化学染色法测量B,Al及P扩散结深

摘要：

采取化学染色法对B,Al和P杂质扩散形成的结深进行检测,通过实验不同浓度染色液的腐蚀特性,选择易于控制和重复性好的染色腐蚀液.同时采用扩展电阻法对同一个样品的结深进行测试,以扩展电阻法所得结果为标准,与染色法的测量结果进行对比,根据测试结果与理论分析,对染色法的测试结果进行修正,确定P扩散结深的测试系数.

关键词：扩散结深、染色液、扩展电阻探针法

所属期刊栏目：34

分类号：TN304.07(半导体技术)

在线出版日期：2010-02-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1213-1215