BDD电极电化学氧化清洗工艺氧化性研究

摘要：

为了改进现有的RCA清洗法以及臭氧/过氧化氢湿式清洗技术,利用金刚石膜(BDD)电极的高级电化学氧化技术生成过氧化物氧化有机物,以实现简化清洗设备及节能环保.为研究金刚石膜电极的氧化能力,电解不同浓度的硫酸钾溶液,通过高锰酸钾滴定法进行氧化性的测量,研究原料浓度对生成过氧硫酸盐浓度的影响;通过添加KOH调节pH值,研究pH值对电化学制备过氧化物的影响,用该电化学氧化方法与RCA清洗法进行清洗效果对比.实验结果显示,金刚石膜电化学氧化能力可以通过阳极电解液浓度以及pH值的调整得到控制,清洗效果在Si片表面粗糙度方面明显优于传统的RCA清洗法,而且更加节能环保.

关键词：金刚石膜电极、电化学氧化、氧化性、掺硼金刚石膜

所属期刊栏目：34

分类号：TN305.97(半导体技术)

资助基金：国家科技重大专项;国家自然科学基金;高等学校博士学科点专项科研基金

在线出版日期：2009-11-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：833-836