RHEED在计算Al2O3晶面间距中的应用

摘要：

反射式高能电子衍射仪(RHEED)是一种表面分析工具,以往都是用来对晶体进行定性观察,以研究晶体的结晶状况,很少用来进行晶体结构的定量计算.在分析RHEED的工作原理的基础上,研究了A1203衍射条纹宽度、电子束入射方向和晶面方向之间的关系,并尝试利用RHEED来分析和计算Al2O3(0001)面上两个重要方向上的晶面间距,得到了理想的结果.由于RHEED是一种原位监测仪器,所以可对薄膜的生长进行实时原位监测.在测晶面间距等常数时,与对样品要求极高的透射电子显微镜相比,RHEED更方便.

关键词：反射式高能电子衍射仪、晶面间距、氧化铝

所属期刊栏目：34

分类号：TN307(半导体技术)

资助基金：教育厅科学研究项目;博士启动基金

在线出版日期：2009-04-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：73-75