高温氧化扩散炉温度控制系统自整定技术

摘要：

针对高温氧化扩散炉设备工艺温度需求,提出了高性能多段炉温控制系统与整定技术.系统各段加温区控制与整定采用各自独立通道,系统通过主动调节各通道激励信号,同时获得各段炉体的谐波平衡信号,从而获得临界周期与临界增益,最终通过Z-N法获得多段炉体PID参数.实验表明,改进的多段炉体整定技术参数稳定有效,时间缩短.利用整定参数进行温度工艺控制实验,实验结果达到氧化扩散工艺要求.

关键词：扩散炉、温度控制、PID自整定

所属期刊栏目：33

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2008-12-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：810-813