一款微波双极晶体管的设计和实现

摘要：

对双极晶体管结构和关键性能参数进行了研究和设计,并进行了流片测试.介绍了器件工艺步骤及其采用的工艺结构.对器件的特征频率、Gummel曲线、发射极电子和空穴浓度、CE击穿特性模拟、β/Ic曲线等关键参数进行了模拟.模拟器件最高特征频率为10 GHz,流片测试最高特征频率为9.5 GHz.

关键词：双极晶体管、特征频率、双层多晶硅、增益

所属期刊栏目：33

分类号：TN385(半导体技术)

资助基金：聊城大学东昌学院高科技发展项目

在线出版日期：2008-12-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：780-783