半导体炉管区E/T问题的动态调度算法

摘要：

炉管区是半导体制造过程中用于热处理的重要区域.在多品种不同交货期的晶圆产品连续到达的环境下,提出了优化目标为极小化E/T(提前/延迟)值的WCRH(加权成本率)算法.该算法根据产品的交货期实时更新晶圆产品的加工优先级;通过计算和比较加权成本率来确定哪一种晶圆优先加工以及投入加工的时间.仿真结果表明,该算法在减小E/T值和缩短加工完成时间方面,优于文献中提及的启发式算法.

关键词：半导体制造、批处理、炉管、提前/延迟、加权成本率算法

所属期刊栏目：33

分类号：TP29(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金60574054

在线出版日期：2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：639-643