半导体洁净室内分子级污染物的控制方法

摘要：

对洁净室内分子级污染物(AMC)的分类、取样监测方法以及针对不同制程所采用通用的污染控制方法进行了较为全面的归纳和总结.对不同类型的污染源头进行分类识别,并举出实例.给出了几种控制污染的方法.分析了具体问题的实际情况,讨论了主要的污染源及具体产品的环境控制要求,以找到最合理、有效的处理方法.

关键词：洁净室、分子级污染物、污染控制方法、监测

所属期刊栏目：33

分类号：TN305.97(半导体技术)

在线出版日期：2008-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：495-496,500