掺Al ZnO柔性透明导电薄膜研究进展

摘要：

柔性透明导电薄膜ZAO具有优异的光电性能且资源丰富、成本低、对环境无污染,成为当前的研究热点.总结了近年来对柔性衬底材料处理的方法,分析了柔性透明导电薄膜的研究历史和现状.介绍了柔性透明导电薄膜ZAO的结构、光电特性、典型制备方法和应用前景.评述了柔性ZAO薄膜的研究现状,并对其近期研究和应用工作进行了展望.

关键词：ZAO薄膜、柔性衬底、透明导电薄膜

所属期刊栏目：33

分类号：TN304;TB43(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金50402019

在线出版日期：2008-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：461-465