新型MEMS气体传感器及其理论模型

摘要：

提出了一种基于Si压阻效应的新型MEMS气体传感器,其结构主要是由制作在Si薄膜表面的惠斯通电桥和在Si薄膜表面淀积的一层聚合物气敏薄膜构成.应用弹性力学薄板原理建立了该气体传感器中Si薄膜与聚合物薄膜相互作用的理论模型,提出了气体传感器的等效横向气体裁荷qg并由此导出了传感器的最终输出公式.理论分析表明该传感器的输出具有很好的线性,而且结构简单,无须加热,应用MEMS工艺技术可实现与信号处理电路的集成.

关键词：压阻式、气体传感器、理论模型、硅薄膜、微电机系统、聚合物

所属期刊栏目：33

分类号：TP211.51(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金;四川省学术与技术带头人培养项目;西南交通大学科技发展基金

在线出版日期：2008-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：435-439