电化学C-V法对载流子浓度纵向分布的精确测量

摘要：

电化学C-V法是当前测量化合物半导体载流子浓度纵向分布的非常重要的方法.用电化学C-V测试仪对外高内低、有较大浓度梯度的外延样品进行载流子浓度纵向分布测量时发现,内层低载流子浓度区域测试结果误差较大,主要是由测试系统引起的,由此提出了一种对结果的修正算法.通过对MBE制作专用样品测量证实,用该方法可得到数据准确可靠的测试结果.

关键词：电化学C-V法、载流子浓度、误差分析、修正算法

所属期刊栏目：32

分类号：TN304.07(半导体技术)

资助基金：装备维修科研项目;应用基础研究项目

在线出版日期：2007-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：809-811