激光微加工电热微夹钳设计与FEA仿真

摘要：

选用厚度为12.5μm的镍箔,采用激光微加工技术制备尺寸为2.8 mm × 1.4 mm ×0.0125 mm的微夹钳.其每一对级联元件由一系列致动单元组成,而每个致动单元由一个制约器和两个呈半圆形的动作梁构成,其驱动原理是电热效应.运用有限元分析(FEA)仿真了微夹钳的动态性能,对其动态性能进行了实验测试.测试结果表明,当电压为1.9 V时,最大位移量达到28.8μm,延迟时间小于200 ms.

关键词：微夹钳、有限元分析、微电子机械系统、激光微加工技术

所属期刊栏目：32

分类号：N945.13(系统科学)

资助基金：国家高技术研究发展计划（863计划）2006AA10Z258

在线出版日期：2007-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：727-731