X-Factor理论在半导体晶圆制造中的应用

摘要：

目前快速响应市场和降低成本成为半导体企业重点强调的目标,这就需要较短的生产周期和最大限度地使用最少的设备.但实际中,生产周期和设备利用率存在着此消彼长的关系.介绍了一种X-factor理论,其具有综合考虑这两者关系的优点,目前该理论在国际半导体企业中已经得到运用.就此方法与传统的监测和优化设备瓶颈方法进行比较,得出了此方法的合理性和优越性.

关键词：X-factor理论、生产周期、设备利用率

所属期刊栏目：32

分类号：TN304.01;TN305(半导体技术)

在线出版日期：2007-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：665-668