基于MEMS的光开关技术研究

摘要：

介绍了光开关、MEMS和MEMS光开关的基本概念.基于功能实现,重点分析了二维和三维MEMS光开关的实现机理与特性.针对两者不足,研究了一维MEMS光开关.分析了MEMS光开关的驱动方式,并针对静电驱动、二维MEMS光开关,研究了MEMS光开关控制系统.

关键词：光开关、微电子机械系统、驱动、控制系统

所属期刊栏目：32

分类号：TN256(光电子技术、激光技术)

资助基金：教学改革项目XJJ2004071

在线出版日期：2007-05-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：342-344