多层金属化系统中的蓄水池效应

摘要：

对于W通孔多层金属化系统来说,金属离子蓄水池效应对其电迁移寿命的影响很大.设计了12种不同的蓄水池结构,并进行电迁移实验;考察了蓄水池面积、通孔位置、数目及大小等对互连线的电迁移寿命的影响,得出蓄水池的面积是影响电迁移寿命的主要因素.

关键词：互连线、蓄水池效应、电迁移

所属期刊栏目：32

分类号：TN405.97;TN306(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：电子元器件可靠性物理;应用技术国防科技重点实验室资助项目

在线出版日期：2007-05-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：320-323,338