晶圆复杂制造系统在线优化调度系统研究

摘要：

为更好地实现晶圆企业的绩效指标,与传统半导体生产优化研究方法不同,以生产线平衡为优化目标,提出了一个多重入晶圆复杂制造系统在线优化调度系统(OOSS).该系统融合了生产线平衡思想、Drum-Buffer-Rope思想以及分层调度优化思想,形成一个拉式调度优化系统,并能根据系统状态的变化动态地生成系统仿真模型,保证了仿真结果的有效性.进一步仿真实验表明该系统的有效性.

关键词：在线优化调度、生产线平衡、Drum-Buffer-Rope理论、分层调度

所属期刊栏目：32

分类号：TP278(自动化技术及设备)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研基金;上海市重点学科建设项目

在线出版日期：2007-05-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：284-287